Sputtering Systems 

Línea SME de Sistemas de Bombardeo

La serie SME es una línea de sistemas de bombardeo tipo clúster, de bajo costo, que ahorran espacio y son ideales para dispositivos SAW y semiconductores compuestos. Esta serie le permite crear una línea altamente eficiente en términos de costos, adecuada para cada aplicación

Características

• Puede ser usado para fabricar electrodos de compuerta, capacitores, resistores y un amplio rango de componentes.
• Deposición altamente reproducible y de alta calidad
• Elección de las configuraciones del sistema, con hasta tres cámaras de bombardeo
• Fácil mantenimiento que reduce los tiempos muertos
• Control de esfuerzos en la película de recubrimiento y reducción del tamaño de partícula