Mechanical Booster Pumps
Línea PRC-A de Bombas Mecánicas Elevadoras de Presión
 La línea PRC-A ofrece versiones mejoradas de los modelos ampliamente utilizados de ULVAC PMB-003C (M), PMB-006C (M) y PMB-012C (M). Estos modelos ofrecen el mismo desempeño de evacuación con niveles inferiores de ruido y confiabilidad superior. Son ideales para uso en ambientes sensibles al polvo que requieren recintos limpios para procesos de manufactura de semiconductores y equipos de cristal líquido. La línea PRC-A ofrece bombas Roots, diseñadas principalmente para procesos que requieren atmósferas altamente limpias y pueden usarse con bombas auxiliares para incrementar la velocidad de evacuación en el rango entre 10 kPa y 1 Pa
Características
- Eliminación de filtraciones hacia el exterior de la bomba.
El uso de motores encapsulados elimina los sellos evita el uso de sellos mecánicos y elimina por completo las filtraciones hacia el exterior de la bomba. No contamina el medio ambiente.
- Bajo nivel de ruido
El uso de motores encapsulados elimina el ruido del viento de los ventiladores de aire de enfriamiento para motores de propósitos generales, permitiendo una operación con bajo nivel de ruido.
- Libre de aceite
La operación libre de lubricación en la cámara de revestimiento, permitiendo un desempeño estable con vapor de agua o vapor de solvente.
- Alta resistencia a la corrosión
Los principales componentes son procesados con Tufram, de alta dureza superficial y elevada resistencia a la corrosión. Los componentes procesados con Tufram reducen el desgaste y la corrosión al interior de la bomba.
- Modelo a presión atmosférica disponible (opcional), efectivo para reducción del tiempo de evacuación
El uso del inversor permite una operación de entrada, arrancando desde presión atmosférica. Puede iniciar al mismo tiempo que la evacuación la bomba robusta, permitiendo una evacuación más rápida que los tipos estándar.
Especificaciones
Modelo |
PRC-003A |
PRC-006A |
PRC-012A |
Velocidad efectiva de evacuación
(m3/h (l/min)) (*1) |
50Hz |
330 |
520 |
930 |
60Hz |
330 |
630 |
1000 |
Presión final (Pa) (*2) |
6.7 x10-1 |
Bomba auxiliar |
LR/HR60 |
LR/HR90 |
LR/HR90 |
Presión máxima de entrada (Pa) (excepto para modelos a presión atmosférica) |
50Hz |
1.2 x 103 |
1.3 x 103 |
1.3 x 103 |
60Hz |
9.3 x 102 |
1.1 x 103 |
1.1 x 103 |
Diferencia de presión máxima permitida (Pa) (excepto para modelos a presión atmosférica) |
50Hz |
4.0 x 103 |
7.3 x 103 |
7.3 x 103 |
60Hz |
3.3 x 103 |
6.0 x 103 |
6.0 x 103 |
Presión de arranque soportada (Pa) |
Hasta 1.0 x 105 (solo para modelos a presión atmosférica) |
Potencia del motor(kW) (número de polos) (*3) |
0.75(2) |
2.2(2) |
3.7(2) |
Oil (*4) |
ULVOIL R-4 |
Cantidad de aceite requerido (l) |
0.7 |
1.5 |
1.9 |
Agua de enfriamiento |
Método de enfriamiento |
Agua de enfriamiento |
Presión primaria (MPa) |
0.1 a 0.3 |
Diferencial de presión Entrada/salida (MPa) |
0.1< |
Caudal (l/min) |
2.0< |
3.0< |
Temperatura (ºC) |
5 a 30 |
Tamaño de la entrada (JIS B 2290) |
Tamaño VG80 |
Tamaño VG100 |
Tamaño de la abertura de salida de aire (JIS B 2290) |
Tamaño VF80 |
Dimensiones exteriores (Largo x Ancho x Alto; mm) (*5) |
296 x 565 x 260 |
356 x 619 x 320 |
406 x 759 x 340 |
Dimensiones exteriores para los modelos a presión atmosférica |
296 x 651 x 260 |
366 x 740 x 20 |
426 x 911 x 340 |
Peso (kg) (*6) |
51(54) |
86(90) |
118(123) |
| Note : |
This catalog uses SI measurement units. Conversion
to non-SI units is as follows :
Final pressure : 6.7 x 10-1 Pa = 5.0 x
10-3 torr
Pressure : 0.1/0.2/0.3 MPa = 1/2/3 kgf/cm2 |
| *1 |
Measured value at 13 Pa (Atmospheric pressure driven
model) |
| *2 |
Measured by Pirani vacuum gauge (standard auxiliary
pump and oil) |
| *3 |
200 VAC 50/60 Hz; 200 VAC 60 Hz; 3-phase |
| *4 |
When ordering oil, specify the type. Pump oil types
other than the standard type are available. Contact
ULVAC. |
| *5 |
W = width, D = depth, H = height |
| *6 |
Oil volume values in parentheses ( ) : For atmospheric
pressure driven models |
| * |
Not available as explosion-proof type or increased
safety type. |
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here to download the PDF file for specifications.
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For
more information |
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TEL
: 978-686-7550/ FAX : 978-689-6300 |
|
