Sistemas de Evaporación  

Sistemas de Evaporación EX/EBX

La línea EX/EBX Series ofrece sistemas de evaporación de alto vacío para producción por lotes, que emplean los beneficios de muchos años de experiencia de ULVAC en tecnología de sistemas de evaporación. ULVAC ha lanzado muchos sistemas para soldadura y electrodos de deposición multicapa de compuestos semiconductores. La línea EX/EBX incluye modelos para una gran variedad de aplicaciones de investigación y desarrollo o producción.

Características

• Fuentes de evaporación EB y fuentes de evaporación por calentamiento del resistor pueden ser cargadas.
• Incidencia vertical para procesos de despegue
• Soporte con configuración por medio de paredes
• Operación completamente automática