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ULVAC Technologies, Inc.
401 Griffin Brook Drive
Methuen, MA 01844
Tel: 978-686-7550
Fax: 978-689-6300 |
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CVD Systems for Solar Cell Production |
 Sistemas CCV
La serie CCV ofrece sistemas PECVD en línea para deposición de silicio amorfo y películas de silicio microcristalino. El sistema está diseñado para alto rendimiento y bajo costo, y tiene una gran base de instalación para producción de celdas solares.
Características
- Disponibles para grandes tamaños de sustrato.
- Alto rendimiento obtenido por el procesamiento de dos sustratos a la vez.
- Bajos costos del sistema y de operación.
Aplicaciones
Especificaciones
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CCV-1400 |
Tamaño del sustrato |
1100X 1400 X 5 mm |
Tasa de deposición |
13 nm/min |
Productividad |
40 sustratos / hora |
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For
more information |
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TEL
: 978-686-7550/ FAX : 978-689-6300 |
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